ASML声明:2050i及2100i光刻机出口许可证已被荷兰政府部分撤销

1月2日消息,ASML在官网发布声明称,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政…

1月2日消息,ASML在官网发布声明称,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销,影响了中国大陆的一小部分客户。

 

ASML还称,公司在最近与美国政府的讨论中,获得了美国出口管制规定范围和影响的进一步厘清。

 

公开资料显示,ASML目前在售的DUV光刻机中,有四种高端的浸润式光刻机,分别是NXT:2100i、NXT:2050i、NXT:2000i、NXT:1980Di,并且这四种光刻机最高都能够实现7nm芯片工艺。

 

其中,利用NXT:2100i和NXT:2050i两种光刻机进行多重曝光,就能实现7nm芯片工艺。

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