7月30日消息，据报道，台积电海外营运资深副总经理暨副共同营运长张晓强表示，仍在评估High-NA EUV应用于未来制程节点的成本效益与可扩展性，目前采用时间未定。

A16制程将于2026年下半年量产，可能不会采用high-NA EUV设备。

昨日，据电子时报报道，台积电最快在2028年推出的A14P制程中引入High NA EUV光刻技术。在2030年后的A10制程中，将全面导入High-NA EUV。

另外，据此前报道，ASML将在2024年内向台积电交付High-NA EUV光刻机，单台造价达3.8亿美元。