12月22日消息,据媒体报道,荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦(ASML)确认,向英特尔交付首台高数值孔径(NA)的极紫外(EUV)光刻系统。
据介绍,每台新机器的造价成本超过3亿美元(约合21.4亿元人民币),可以满足一线芯片制造商的需求,未来十年内能够制造更小、更好的芯片。
阿斯麦发布了这台机器的一部分从荷兰维尔德霍芬总部出发的照片,照片中机器的一部分被装在一个保护盒里,周围还系着一条红丝带。
阿斯麦同时表示:“我们很兴奋,也很自豪能将我们的第一个高数值孔径EUV系统交付给英特尔。”
这台机器组装后将比一辆卡车还大,将用250个单独的板条箱运送,其中包括13个大集装箱,预计将从2026年或2027年开始用于商用芯片制造。
早前相关报道,就在12月19日,SamMobile 消息称,ASML 将于未来几个月内推出用于 2nm 制程节点的芯片制造设备,将数值孔径(NA)光学性能从 0.33 提高到 0.55。
报道称,ASML 明年规划产能仅有 10 台,而英特尔已经预订了其中 6 台。
英特尔发言人称,公司将成为 ASML 第一台 EXE:5200 的买家。与 EXE:5000 相比,EXE:5200 预计将带来几项改进,包括更高的生产率等等。